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3月東莞—半材標委—會議資料（3.27-3.29） - 半導體 - 中國有色金屬標準質量信息網
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    3月東莞—半材標委—會議資料（3.27-3.29）
    2023-03-22 16:34:32   

    國家標準- 半導體器件 功率器件用碳化硅同質外延片缺陷的無損檢測識別判據 第3部分：缺陷的光致發光檢測標準-預審稿.pdf
    國家標準- 半導體器件 功率器件用碳化硅同質外延片缺陷的無損檢測識別判據 第3部分：缺陷的光致發光檢測標準-預審稿-編制說明.docx
    國家標準-半導體器件 功率器件用碳化硅同質外延片缺陷的無損檢測識別判據 第1部分：缺陷分類-編制說明-預審稿.docx
    國家標準-半導體器件 功率器件用碳化硅同質外延片缺陷的無損檢測識別判據 第1部分：缺陷分類-預審稿.pdf
    國家標準-半導體器件 功率器件用碳化硅同質外延片缺陷的無損檢測識別判據 第2部分：缺陷的光學檢測標準 -預審稿.pdf
    國家標準-半導體器件 功率器件用碳化硅同質外延片缺陷的無損檢測識別判據 第2部分：缺陷的光學檢測標準 -預審稿-編制說明.docx
    國家標準-高純鎵-編制說明（預審稿）.docx
    國家標準-高純鎵-預審稿.docx
    國家標準-碳化硅外延片-編制說明（討論稿）.doc
    國家標準-碳化硅外延片-討論稿.doc
    行業標準-硅材料中氫含量的測定 脈沖加熱惰性氣體熔融熱導檢測法（討論稿）.doc
    行業標準-硅材料中氫含量的測定 脈沖加熱惰性氣體熔融熱導檢測法-編制說明（討論稿）.doc
    行業標準-流化床法顆粒硅總金屬含量的測定  電感耦合等離子體質譜法（討論稿）.doc
    行業標準-流化床法顆粒硅總金屬含量的測定  電感耦合等離子體質譜法-編制說明（討論稿）.doc

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